Renishaw雷尼紹平面鏡干涉儀RLD10

RLD10發(fā)射頭內(nèi)含有干涉鏡組、多通道條紋檢測系統(tǒng)、激光光閘和內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡。提供0°和90°兩種RLD10發(fā)射頭型號。

特性與優(yōu)點

雙軸解決方案 — 雙軸平面鏡系統(tǒng)是XY平臺應(yīng)用的理想解決方案。

高分辨率 — 與角錐反射鏡系統(tǒng)相比，平面鏡系統(tǒng)還可用于要求更高分辨率的應(yīng)用。

敏感環(huán)境 — 還提供低功率型號的平面鏡干涉儀發(fā)射頭。適合其功耗要求低于標(biāo)準(zhǔn)RLD額定值（即 < 2 W）的應(yīng)用。

規(guī)格

對于非真空應(yīng)用，為了維持變動環(huán)境條件下的精度，需要某種形式的折射率補(bǔ)償。雷尼紹提供RCU10實時正交補(bǔ)償系統(tǒng)，用于對環(huán)境變化進(jìn)行補(bǔ)償。

若選用RPI20并行接口并集成到RLE系統(tǒng)中，可達(dá)到38.6皮米的分辨率。該接口可接收差分模擬1 Vpp正弦/余弦信號，并提供并行輸出格式。

Renishaw雷尼紹平面鏡干涉儀RLD10